電源開功率後,PF輸出功率不穩定,波動範圍很大
來源: admin   發布時間: 2015-08-18   1208 次瀏覽   大小:  16px  14px  12px

1.電源匹配放電後,PF功率跳動範圍很大。輝光閃爍。遇上這種情況時請及時關閉功率輸出。電源功率輸出不穩定極容易燒壞電源。

2.出現這種問題的原因主要是輸出功率太高,可以降低輸出功率。還有就是腔體真空度不穩定,檢查一下腔體的真空度與氣流量是否是恒定的。另外就是匹配不好。最好是用低功率100/200W起輝後再加到需要的功率。因為電源在高功率起輝時容易出現不穩定現象。